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潔凈室及潔凈區選列的懸浮粒子潔凈度等級

發布日期： 2017-04-07
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表1 潔凈(jing)(jing)室及潔凈(jing)(jing)區(qu)選列(lie)的(de)(de)懸浮粒子潔凈(jing)(jing)度等(deng)級ISO等(deng)級序數（N）大于或等(deng)于表中被考慮的(de)(de)粒徑的(de)(de)zui大濃度限值pc/m3空氣濃度限值按3.2中的(de)(de)公(gong)式計算pc/(28.3L)1ft3空氣濃度限值pc/（2.83L）0.1ft3空氣濃度限值0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μmISO Class 5Class 10010200352083229289100230291020ISO Class 6Class 1000102000352008320293288710002358289100241ISO Class 7Class 10000352000832002930100002354839962368ISO Class 8Class 10000035200008320002930010000023545829996223558330萬級（GMP）10560000249600087900300000706352487298857064249ISOClass 9Class 1000000352000008320000293000100000023545682919961623545829注：由于涉及測量(liang)過程的(de)(de)不確定性，幫要求(qiu)用三個有效的(de)(de)數據(ju)來確定濃度等(deng)級水平。