單晶硅烘箱概念
主要(yao)用于單晶硅與多晶硅清洗(xi)后的(de)烘(hong)培、干(gan)燥方面(mian)的(de)工藝處理。 特(te)點
1,本系列主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘(hong)培(pei)、干燥(zao)方面的工(gong)藝(yi)處理。
2,本(ben)系列烘(hong)箱采用(yong)數顯溫(wen)度(du)(du)調節儀進(jin)行溫(wen)度(du)(du)控制、控溫(wen)靈敏、操作(zuo)簡便、性能(neng)可靠,數字(zi)直接顯 示出工作(zuo)溫(wen)度(du)(du),直觀易讀。
3,工作室溫度可在室溫至250℃之(zhi)間任意恒溫;能自動切斷電源,保護設備和產品。
4,該設(she)備具(ju)有超(chao)溫報警,恒溫計(ji)時功能。
箱(xiang)(xiang)體(ti)結(jie)構: 設計(ji)*,箱(xiang)(xiang)體(ti)采(cai)用數控(kong)機床加工成型(xing),箱(xiang)(xiang)門(men)采(cai)用雙開式,操作(zuo)容易。內(nei)膽采(cai)用SUS304不銹鋼板,外殼為(wei)A3板噴塑處理,更顯光(guang)潔、美觀。電路系(xi)統側采(cai)用門(men)式開啟,方便維護和檢修。箱(xiang)(xiang)門(men)閉(bi)合松緊能調節,整體(ti)成型(xing)的硅橡膠門(men)封圈,確(que)保烘箱(xiang)(xiang)的密閉(bi)性。
單晶硅烘箱日常保養:
1. 打(da)掃表面及內(nei)腔(qiang)灰塵,保持機器干(gan)凈、衛生。
2. 檢(jian)查電流表電流跟正(zheng)常時是否一樣,如(ru)有異樣,通知維修(xiu)工(gong)檢(jian)修(xiu)。
技術參數:
1、工作室材質(zhi):鏡面不銹鋼板(ban);
2、網板:2層(ceng)不銹鋼網板;
3、定時(shi)范圍:1-9999min 4、溫度范圍:RT 10~400℃;
5、溫度分(fen)辨率:0.1℃;
6、溫(wen)度波動度:≤±0.5℃。
應用領域:
1、高科技電子業
2、化驗室等單位
3、研究機構
4、精密品管部門
■ 控(kong)制執(zhi)行系統(tong): 溫度控(kong)制器采用(yong)觸摸按鍵、數顯LED顯示、PID智能控(kong)制儀表; Pt100鉑電阻測(ce)溫傳感器;